适用于制造电子元件的超净的含氟弹性体

摘要

一种用于制备全氟弹性体的可固化的含氟弹性体组合物。该组合物包括：(1)具有一个或多个固化部位的全氟聚合物，所述固化部位选自能参与过氧化物固化反应的卤素和/或腈基；(2)有机过氧化物和/或能通过所述腈基进行所述全氟聚合物固化的化合物；以及(3)任选的多不饱和的活性助剂。所述组合物中的全氟聚合物基本上不含离子端基，并且所述组合物中金属阳离子的总量不超过10μg/g全氟聚合物。所述全氟弹性体可通过以足够少的金属阳离子的量固化所述组合物来得到，从而制造适用于半导体工业的含氟弹性体。

主权项

一种可固化的含氟弹性体组合物，它包含：‑通过水乳液聚合方法得到的，具有一个或多个固化部位的全氟聚合物，所述固化部位选自能参与过氧化物固化反应的卤素和/或腈基，其中所述卤素选自Cl，Br和I原子；‑有机过氧化物和/或能通过所述腈基进行所述全氟聚合物固化的化合物；和‑任选的多不饱和的活性助剂；其特征在于，所述全氟聚合物基本上不含羧基端基，并且其中该组合物中金属阳离子的总量不超过10μg/g全氟聚合物，其中所述全氟聚合物基本上不含羧基端基是指所述全氟聚合物含有的羧基端基的量使得通过计算在所述全氟聚合物的傅里叶变换红外光谱中的1840cm‑1‑1620cm‑1的范围内的积分峰强度与在2740cm‑1‑2220cm‑1的范围内的积分峰强度所确定的吸光率之比小于0.1。