磁头悬浮组件、硬盘装置、及其制造方法

摘要

本发明提供一种磁头悬浮组件的制造方法，硬盘装置的制造方法，磁头悬浮组件，和硬盘装置。本发明的HGA的制造方法，包括：准备具备具有第一压电体层的第一压电叠层体、和具有第二压电体层的第二压电叠层体的薄膜压电致动器的工序；准备悬架的工序；将薄膜压电致动器固定在悬架上的固定工序；在固定工序后对第一压电体层进行再极化处理的第一再极化处理工序；在固定工序后对第二压电体层进行再极化处理的第二再极化处理工序。

主权项

一种磁头悬浮组件的制造方法，所述磁头悬浮组件包括：具有对磁记录介质进行记录和再现中至少一者的薄膜磁头的磁头滑块、搭载所述磁头滑块的悬架、和使所述磁头滑块相对于所述悬架相对移位的薄膜压电致动器，所述制造方法的特征在于，包括：准备所述薄膜压电致动器的工序，所述薄膜压电致动器包括：具有第一电极层、第二电极层、和在所述第一电极层与所述第二电极层之间设置的第一压电体层的第一压电叠层体，和具有第三电极层、第四电极层、和在所述第三电极层与所述第四电极层之间设置的第二压电体层的第二压电叠层体，所述第一压电体层具有第一极化矢量，该第一极化矢量具有从所述第一电极层朝向所述第二电极层的方向的成分，所述第一压电叠层体不具有所述第一压电体层以外的压电体层，所述第二压电体层具有第二极化矢量，该第二极化矢量具有从所述第三电极层朝向所述第四电极层的方向的成分，所述第二压电叠层体不具有所述第二压电体层以外的压电体层，所述第一压电叠层体和所述第二压电叠层体不是以在其厚度方向上叠层的方式一体形成的，所述第一电极层、所述第二电极层、所述第三电极层和所述第四电极层相互非导通；准备所述悬架的悬架准备工序，所述悬架包括：用于与所述第一电极层电连接的第一电极部、用于与所述第二电极层电连接的第二电极部、用于与所述第三电极层电连接的第三电极部、和用于与所述第四电极层电连接的第四电极部，和设置所述第一压电叠层体的第一区域和设置所述第二压电叠层体的第二区域构成的薄膜压电致动器搭载区域；固定工序，将所述薄膜压电致动器固定在所述悬架的所述薄膜压电致动器搭载区域；电连接工序，将所述第一电极层与所述第一电极部电连接，将所述第二电极层与所述第二电极部电连接，将所述第三电极层与所述第三电极部电连接，和将所述第四电极层与所述第四电极部电连接；第一再极化处理工序，在所述固定工序后，对所述第一电极层与所述第二电极层之间施加电压，使得在所述第一压电体层内产生从所述第一电极层朝向所述第二电极层的方向的电场、且在所述第二压电体层内不产生与从所述第三电极层朝向所述第四电极层的方向相反的方向的电场，由此对所述第一压电体层进行再极化处理；第二再极化处理工序，在所述固定工序后，对所述第三电极层与所述第四电极层之间施加电压，使得在所述第二压电体层内产生从所述第三电极层朝向所述第四电极层的方向的电场、且在所述第一压电体层内不产生与从所述第一电极层朝向所述第二电极层的方向相反的方向的电场，由此对所述第二压电体层进行再极化处理；和将所述磁头滑块固定在所述悬架上的工序。