| 发明名称 | 光罩清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光罩清洗方法，当拆掉光罩上的光罩保护膜后，该方法包括：在光罩上的光罩保护膜粘贴区域均匀喷洒异丙醇、丙酮、酒精或庚烷，并对喷洒有异丙醇、丙酮、酒精或庚烷的区域进行单方向擦拭，当目测光罩上不存在残胶时，停止擦拭；依次利用臭氧水、去离子水、SC-1溶液和去离子水对光罩进行清洗；对清洗后的光罩进行干燥处理。应用本发明所述的方案，能够较好地去除光罩上的残胶。 | ||
| 申请公布号 | CN102033416B | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN200910196549.1 | 申请日期 | 2009.09.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 李德建 |
| 分类号 | G03F1/82(2012.01)I;B08B7/04(2006.01)I;F26B5/08(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/82(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 谢安昆;宋志强 |
| 主权项 | 一种光罩清洗方法，当拆掉光罩上的光罩保护膜后，该方法包括：在光罩上的光罩保护膜粘贴区域均匀喷洒异丙醇、丙酮、酒精或庚烷，并对喷洒有异丙醇、丙酮、酒精或庚烷的区域进行单方向擦拭，当目测光罩上不存在残胶时，停止擦拭；依次利用臭氧水、去离子水、SC‑1溶液和去离子水对光罩进行清洗；对清洗后的光罩进行干燥处理。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||