一种去除硅中硼元素的方法

摘要

一种去除硅中硼元素的方法，涉及半导体材料领域。本发明的方法是利用硅合金特性，将硅和液态时可溶解硼的金属按比例混合真空熔炼，定向凝固，缓慢冷却，待硅凝固而金属未凝固时，将液态金属倒出，溶于金属的硼也随着倒出。由于本发明采用了可溶解硼的金属对硅中的杂质进行稀释，本发明的方法可以有效降低硅中杂质含量，特别是硼杂质含量，可以将固体硅中的B含量下降到70％以上。

主权项

一种去除硅中硼元素的方法，其步骤为：步骤1：将多晶硅重量份45‑55和液态时可溶解硼的金属或合金重量份45‑55放入高纯石墨坩埚中；步骤2：炉内抽真空后，通入惰性气体；步骤3：升温至硅与金属的熔点上，保温至少1h；步骤4：开启温度控制，降温至硅与金属的熔点下，定向凝固，以0.01‑0.05℃/h逐步冷却，使坩埚中的硅、铝及硅铝合金充分分凝；步骤5：硅结晶过程结束后，将液态铝倒出。