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发明名称
摘要
申请公布号	JP4943333(B2)	申请公布日期	2012.05.30
申请号	JP20070528021	申请日期	2005.08.16
申请人		发明人
分类号	C23C16/18;C23C16/44;H01L21/285	主分类号	C23C16/18
代理机构		代理人
主权项
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