发明名称 |
EXCIMER RADIATION LAMP ASSEMBLY, AND SOURCE MODULE AND FLUID TREATMENT SYSTEM CONTAINING SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1971999(A4) |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
EP20060840512 |
申请日期 |
2006.12.21 |
申请人 |
TROJAN TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
FRASER, JIM;SASGES, MICHAEL |
分类号 |
H01J61/12;A61L2/08;C02F1/32;H01J37/00;H01J61/30;H01J61/32;H01J61/33;H01J65/04 |
主分类号 |
H01J61/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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