掺杂类金刚石与油脂复合润滑薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种掺杂类金刚石与油脂复合润滑膜的制备方法。本发明以油脂润滑剂为原料，采用磁控溅射仪制备金属和非金属共掺杂的类金刚石薄膜并在其上吸附稳定、均匀的油脂润滑膜。薄膜具有良好的摩擦学性能，可以用作减摩、抗磨保护性涂层。

主权项

一种掺杂类金刚石与油脂复合润滑薄膜的制备方法，其特征在于该方法的步骤为：A以单晶硅片作基底，使用前进行清洗，置于磁控溅射仪的真空室中；B溅射前将真空室气压抽至1×10‑3Pa～3×10‑3Pa，在沉积薄膜前用Ar等离子体轰击硅片表面；采用TiAl靶和硅靶，Ar和CH4气体作为溅射和反应气体，通过控制进入真空室的气体流量、沉积功率和沉积时间制备掺杂的类金刚石；进入真空室Ar气流量为100sccm～140sccm；CH4气流量为40sccm～60sccm；反应总气压为0.5Pa～0.8Pa；沉积电流为1.5～2.5A/cm2；基底负偏压为100V～200V；C选取油脂润滑剂均匀旋涂于类金刚石薄膜表面，于室温下放置后得到掺杂类金刚石与油脂复合润滑薄膜。