发明名称 |
采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜 |
摘要 |
本发明涉及采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜,包括紫外或深紫外激光器、光发射电子显微镜PEEM,紫外或深紫外激光器发射的激光光路垂直入射到PEEM的样品台。在于将能量高于5eV的固定波长或连续波长的(深)紫外激光施用于光发射电子显微镜;通过激光与PEEM连接系统将激光以一种独特的垂直入射样品表面的方式激发固体表面光电子;采用电子光学系统将表面光发射电子成像从而获得表面图像信息;应用深紫外激光研究固体表面上的动态过程,包括表面化学反应和表面生长过程,实现表面动态过程的高空间分辨、原位实时的研究和观察。 |
申请公布号 |
CN102479652A |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201010567093.8 |
申请日期 |
2010.11.30 |
申请人 |
中国科学院大连化学物理研究所 |
发明人 |
傅强;金立;谭大力;慕仁涛;包信和 |
分类号 |
H01J37/26(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/26(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
代理人 |
马驰 |
主权项 |
采用紫外或深紫外激光源的高空间分辨光发射电子显微镜,其特征在于:包括紫外或深紫外激光器、光发射电子显微镜PEEM,紫外或深紫外激光器发射的激光光路垂直入射到PEEM的样品台。 |
地址 |
116023 辽宁省大连市中山路457号 |