用于处理衬底的组合体系结构

摘要

一种组合体系结构，包括与一个或多个衬底湿式处理模块耦合的实验室环境受控传输模块。该实验室环境受控传输模块和一个或多个衬底湿式处理模块管理第一周围环境，具有连接到该实验室环境受控传输模块和一个或多个等离子处理模块的真空传输模块。该真空传输模块与该一个或多个等离子体处理模块管理第二周围环境。与真空传输模块和一个或多个环境处理模块相耦合的受控环境传输模块管理第三周围环境。因此，该组合体系结构能够在第一、第二或第三周围环境下以及在相关的转换过程中可控地处理衬底。此外，实施例提供用于填充衬底沟槽的有效方法。

主权项

一种用于处理衬底的组合体系结构，包括：与一个或多个衬底湿式处理模块耦合的实验室环境受控传输模块，设置所述实验室环境受控传输模块和所述一个或多个衬底湿式处理模块以管理第一周围环境，以及利用以干进干出顺序处理衬底的末端执行器激活与该一个或多个衬底湿式处理模块界面；与所述实验室环境受控传输模块和一个或多个等离子体处理模块耦合的真空传输模块，设置所述真空传输模块和所述一个或多个等离子体处理模块以管理第二周围环境；和与所述真空传输模块和一个或多个环境处理模块耦合的受控环境传输模块，设置所述受控环境模块和所述一个或多个环境处理模块以管理第三周围环境；其中所述组合体系结构能够在所述第一、第二或第三周围环境下可控地处理所述衬底，其中该第一、第二和第三周围环境与该组合体系结构外的非受控清洁室环境隔开。