| 发明名称 | 光照射装置 | ||
| 摘要 | 一种光照射装置，可增加从光源射出而照射于被照射体的光量。光照射装置，包括：光源(40)；配置于该光源(40)下方的遮光罩(M)；设于该遮光罩(M)上方的支承构件(24)；及吸附管(30)，该吸附管被该支承构件(24)支承，具有光透射性，利用真空吸引以吸附保持遮光罩(M)。光照射装置，将从光源(40)照射、透射过遮光罩(M)的光，照射于配置在该遮光罩(M)下方的被照射体(W)。 | ||
| 申请公布号 | CN101556908B | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN200910127678.5 | 申请日期 | 2009.03.18 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 门胁徹二 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人 | 段迎春 |
| 主权项 | 一种光照射装置，将从光源射出、透射过配置在所述光源下方遮光罩的光，照射于配置在所述遮光罩下方的被照射体上，其特征在于，包括：支承构件，所述支承构件设于所述遮光罩上方；及多根吸附管，所述吸附管被所述支承构件支承，由具有光透射性的石英玻璃构成，并且被设置在所述遮光罩的上方，利用真空吸引以吸附保持所述遮光罩；所述吸附管包含：第1管材，所述第1管材被所述支承构件支承；及第2管材，所述第2管材连结于所述第1管材之下端部，沿着所述第2管材的轴向的两端面是经过研磨处理的研磨面。 | ||
| 地址 | 日本国神奈川县茅崎市萩园2500番地 | ||