一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法

摘要

本发明涉及一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法。以磷肥副产物氟硅酸钠热解得到的四氟化硅和四氢铝钠为原料制得硅烷，硅烷裂解制得多晶硅和氢气，其中氢气进入循环，用于四氟铝钠的氢化。反应过程中副产的氢氟酸用于生产氟化盐产品。本发明提供的生产多晶硅的方法，以副产物为原料，价格低廉，工艺简单，易于操作，环保节能，生产的多晶硅杂质含量低，纯度高，且生产中的副产物氢氟酸又可用于生产氟化盐产品，进一步降低生产成本，具有较好的经济效益、社会效益和环保效益。

主权项

一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法，其特征在于，具体步骤如下所述：(1)磷肥副产物氟硅酸钠在700℃～900℃下进行热解，生成氟化钠和四氟化硅气体；(2)将质量比为(1～5)：1的四氢铝钠和四氟化硅在50℃～150℃、二醇二甲醚与甲苯的混合溶剂中反应，制得硅烷和四氟铝钠；所述四氢铝钠是由四氟铝钠和氢气在200℃～600℃，钯、镍催化剂作用下反应生成；(3)硅烷通过分子筛提纯系统，得到高纯度的硅烷；(4)提纯后的硅烷在700℃～1000℃下裂解生成多晶硅和氢气。