发明名称 |
一种半导体晶片喷涂机 |
摘要 |
本实用新型涉及半导体器件制造技术领域,特别是涉及一种半导体晶片喷涂机,一种半导体晶片喷涂机,它包括机架、高压气仓、输送装置、火花产生器、喷涂出口,所述的高压气仓是一个腔状的结构、接有进气管安装在机架上;所述的输送装置中间是中空结构,中空结构内具有风轮,风轮向外接有两个齿轮,两个齿轮啮合部位具有辖着镍丝的结构,输送装置安装在高压气仓的出口;在输送装置的下面具有火花产生器,所述的火花产生器接镍丝;所述的喷涂出口在输送装置的下面,所述的风轮的两侧各接有两个齿轮,这样结构的半导体晶片喷涂机具有操作简单、没有污染、喷涂均匀的优点。 |
申请公布号 |
CN202246825U |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201120295949.0 |
申请日期 |
2011.08.16 |
申请人 |
河南恒昌电子有限公司 |
发明人 |
刘宝成 |
分类号 |
C23C4/08(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/08(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种半导体晶片喷涂机,其特征是:包括机架、高压气仓、输送装置、火花产生器、喷涂出口,所述的高压气仓是一个腔状的结构、接有进气管安装在机架上;所述的输送装置中间是中空结构,中空结构内具有风轮,风轮向外接有两个齿轮,两个齿轮啮合部位具有辖着镍丝的结构,输送装置安装在高压气仓的出口;在输送装置的下面具有火花产生器,所述的火花产生器接镍丝;所述的喷涂出口在输送装置的下面。 |
地址 |
461500 河南省许昌市长葛市钟繇大道中段东侧恒昌电子有限公司 |