| 发明名称 | 一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置 | ||
| 摘要 | 一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置，包含照明系统、成像系统和探测系统，其特征是：照明系统中的照明光栅和成像系统中的参考光栅均为具有高度差的阶梯状光栅。本实用新型采用阶梯式调焦标记，将光栅安装在阶梯棱镜或阶梯式镜架上，同时参考光栅也同样为阶梯式标记，由此，可以简化光学系统的设计和调试难度。 | ||
| 申请公布号 | CN202257032U | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN201120400413.0 | 申请日期 | 2011.10.20 |
| 申请人 | 中国科学院光电研究院 | 发明人 | 刘广义;韩晓泉;王宇;周翊 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周长兴 |
| 主权项 | 一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置，包含照明系统、成像系统和探测系统，其特征是：照明系统中的照明光栅和成像系统中的参考光栅均为具有高度差的阶梯状光栅。 | ||
| 地址 | 100094 北京市海淀区邓庄南路9号 | ||