发明名称 半导体发光元件的制造方法、灯、电子设备和机械装置
摘要 一种半导体发光元件的制造方法,具备:在第1有机金属化学气相沉积装置中,在基板上层叠第一n型半导体层的第1工序;和在第2有机金属化学气相沉积装置中,在所述第一n型半导体层上依次层叠再生长层、第二n型半导体层、活性层和p型半导体层的第2工序。
申请公布号 CN102484177A 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201080039686.5 申请日期 2010.07.09
申请人 昭和电工株式会社 发明人 酒井浩光
分类号 H01L33/12(2006.01)I;F21S2/00(2006.01)I;H01L33/32(2006.01)I 主分类号 H01L33/12(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 段承恩;杨光军
主权项 一种半导体发光元件的制造方法,其特征在于,具有:在第1有机金属化学气相沉积装置中,在基板上层叠第一n型半导体层的第1工序;和在第2有机金属化学气相沉积装置中,在所述第一n型半导体层上依次层叠再生长层、第二n型半导体层、活性层和p型半导体层的第2工序。
地址 日本东京都