薄膜导电层和钝化层的图案化

摘要

本发明公开了薄膜的导电层和钝化层的简化图案化。在一些实施例中，图案化可以包括在薄膜衬底上沉积导电层，在导电层上沉积钝化层，应用包括期望图案的可移除掩模至钝化层，以及图案化钝化层以具有期望图案，使用图案化的钝化层作为用于导电层的掩模，以及图案化导电层以具有期望图案。在其它实施例中，图案化可以包括在薄膜衬底上沉积导电层，在导电层上沉积钝化层，在钝化层上沉积保护层，应用具有期望图案的可移除掩模至保护层，图案化保护层以具有期望图案，使用图案化的保护层作为用于钝化层和导电层的掩模，以及图案化钝化层和导电层以具有期望图案。使用这样图案化的薄膜的示例性装置可以包括触摸传感器面板。

主权项

一种方法，包括：在表面上沉积导电层；在导电层上沉积钝化层；应用包括图案的可移除掩模至钝化层；图案化钝化层以具有所述图案；将图案化的钝化层提供作为用于导电层的掩模；以及图案化导电层以具有所述图案。