发明名称 具有护筒的拉晶管
摘要 本实用新型涉及半导体制造技术领域,涉及具有护筒的拉晶管,包括拉晶管本体,所述的拉晶管本体外部还具有一个保护管,所述的保护管具有套在拉晶管本体外部的结构并套在拉晶管本体外部,所述的保护管是陶瓷制成的,这样结构的拉晶管具有可以防止拉晶管破碎、保证生产的正常进行、使拉晶管受热更加均匀的优点。
申请公布号 CN202246994U 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201120378912.4 申请日期 2011.09.22
申请人 河南鸿昌电子有限公司 发明人 陈建民;陈建卫;陈磊
分类号 C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 具有护筒的拉晶管,包括拉晶管本体,其特征是:所述的拉晶管本体外部还具有一个保护管,所述的保护管具有套在拉晶管本体外部的结构并套在拉晶管本体外部。
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