磁水分离型平面磁控溅射靶

摘要

一种磁水分离型平面磁控溅射靶，包括冷却进水管1、冷却出水管2、导磁板3、阴极体4、靶材压环5、螺钉6、靶材7、中心极靴8、中心永磁块9、边极靴10、边永磁块11和下密封圈13，阴极体4上有圆环形矩形槽41，其中心有圆形盲孔42，圆环形矩形槽41的圆心与圆形盲孔42的圆心重合，冷却进水管1和冷却出水管2向上穿过导磁板3和阴极体4上的通孔，并用水管密封圈43与阴极体4形成密封，中心极靴8和中心永磁块9位于圆形盲孔42内，边极靴10和边永磁块11位于圆环形矩形槽41内。本实用新型由于采用阴极磁路与冷却水路分离的新结构，磁铁的使用寿命大大延长，同时冷却水也不会被污染堵塞，镀膜质量也得到稳定地提高。

主权项

一种磁水分离型平面磁控溅射靶，包括冷却进水管、冷却出水管、导磁板、阴极体、靶材压环、螺钉、靶材、中心极靴、中心永磁块、边极靴、边永磁块和下密封圈，导磁板上有冷却进水管和冷却出水管通过的通孔，其位于阴极体的上面，靶材压环和靶材位于阴极体的下面，导磁板、阴极体和靶材压环通过螺钉固定，下密封圈位于阴极体与靶材之间，阴极体上还有冷却进水管和冷却出水管通过的通孔，其特征是阴极体上有矩形槽，其中心有盲孔，冷却进水管和冷却出水管向上穿过导磁板和阴极体上的通孔，并用水管密封圈与阴极体形成密封，中心极靴和中心永磁块位于盲孔内，边极靴和边永磁块位于矩形槽内。