激光加工设备、碎片收集机构及方法与显示板的制造方法

摘要

本发明涉及一种激光加工设备、碎片收集机构及方法与显示板的制造方法。提供了一种激光加工设备，用于以激光图案化形成于基板上的树脂膜或者金属膜。该设备包括激光源和碎片收集装置，该碎片收集装置具有透射激光的透射窗口、通过使气体流入树脂膜或者金属膜的激光照射区域附近的区域而产生涡流气流的涡流产生机构，以及具有激光通过的开口并且屏蔽碎片流的屏蔽装置。该机构靠近基板上的树脂膜或金属膜设置。由激光照射产生的碎片于堆叠在目标膜上之前和之后被夹带在由涡流产生机构产生的涡流气流中，并且通过屏蔽装置排出到外部。

主权项

一种激光加工设备，用于采用激光来图案化形成于基板上的树脂膜或者金属膜，所述激光加工设备包括：激光源，发射激光；和碎片收集装置，包括：透射窗口，所述激光透射通过所述透射窗口；涡流产生机构，通过使气体流入所述树脂膜或者金属膜的激光照射区域附近的区域而产生涡流气流；以及屏蔽装置，所述屏蔽装置具有入射激光通过的开口并且屏蔽碎片流，并且设置在所述碎片收集装置内部的涡流气流通路中，其中所述碎片收集装置的所述涡流产生机构置为靠近所述基板上的所述树脂膜或者金属膜，并且其中由激光照射产生的碎片于堆叠在目标膜上之前和之后被夹带在由所述涡流产生机构产生的所述涡流气流中，并且通过所述屏蔽装置的入射激光通过的开口排出到外部。