对准扫描验证模拟装置及其控制方法

摘要

本发明提供了一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置及其控制方法，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。

主权项

一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置信息发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息，所述的对准扫描控制器用于计算生成对准扫描参数和计算对准位置信息，启动对准扫描信号处理器，从对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器同步收集对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息，所述对准扫描信号处理器使用对准扫描控制器下发的对准扫描参数，对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行对准信号模型拟合计算。