| 发明名称 | 扫描晶圆表面图像的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种扫描晶圆表面图像的方法，包括如下步骤：A、根据晶圆的轮廓获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；B、判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。本发明方案可以解决现有技术中对晶圆表面扫描时边缘失焦的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN101929846B | 申请公布日期 | 2012.05.30 |
| 申请号 | CN200910053375.3 | 申请日期 | 2009.06.18 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 金灿;陈忠奎 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 谢安昆;宋志强 |
| 主权项 | 一种扫描晶圆表面图像的方法，包括如下步骤：A、获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；B、根据晶圆的轮廓判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||