发明名称 获取ZnSe/ZnS光学基元的方法
摘要 本发明属于光学材料工艺领域,是一种获取多晶体光学材料的方法。具体是获取ZnSe/ZnS光学基元的方法。本方法是:以真空提纯的方式,在硒化锌衬底表面沉积硫化锌,在坩埚内对硫化锌粉体进行预煅烧,时间1.5~3h,温度高于沉积温度20~50℃,冷却后将表面抛光的硒化锌平板放入坩埚,在硫化锌蒸汽温度达到1000~1080℃时,以真空蒸汽(速度为0.02~0.1mm/h)的方式完成硫化锌保护涂层的沉积。创新点:降低光学过过渡层的杂质,降低过渡层对光的损失,并提高叠层ZnSe/ZnS材料在可见、红外光谱范围内的透射性能。所获得的光学材料可用于光学仪器保护窗和窗口,使其可以在高温、雨滴和和灰尘的环境中工作。
申请公布号 CN102477579A 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201110383143.1 申请日期 2011.11.28
申请人 天津津航技术物理研究所 发明人 吴志新;宗杰;甘硕文;赵晓龙;林峰;张弢;加里宾.E.A;古谢夫.P.E;杰米坚科.A.A;杜纳耶夫.A.A;米罗诺夫.I.A
分类号 C30B23/02(2006.01)I;C30B23/06(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C30B23/02(2006.01)I
代理机构 核工业专利中心 11007 代理人 李烨
主权项 一种获取ZnSe/ZnS光学基元的方法,包括:通过真空提纯的方式在硒化锌衬底上沉积硫化锌的步骤,其特征在于:包括如下步骤:在坩埚内对硫化锌粉体进行预煅烧,煅烧时间1.5~3h,温度要比接下来蒸发的温度高20~50℃;冷却后将表面抛光的硒化锌平板放入坩埚内,在硫化锌蒸汽温度为1000~1080℃的情况下,通过真空蒸汽的方式完成硫化锌保护层的沉积。
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