发明名称 硅锭切片用水溶性切削液
摘要 本发明提供一种水溶性切削液,其于硅锭的切削步骤中,与先前品相比润滑性优异,因此可提高切削加工效率,另外,由于由水与硅的反应所引起的引火性的氢产生得到抑制,故而安全性优异,并且由于该水溶性切削液为低泡性,故而不会产生循环使用中的起泡等问题。本发明的硅锭切片用水溶性切削液的特征在于:包含碳数(包括羰基的碳)为4~10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9~2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分。ΔpKa=(pKa2)-(pKa1)(1),其中,将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn-1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1;将使成为Hn-2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。
申请公布号 CN102482613A 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201080036965.6 申请日期 2010.08.30
申请人 三洋化成工业株式会社 发明人 日高亚季;胜川吉隆;冈本毅
分类号 C10M173/02(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;C10M105/14(2006.01)I;C10M105/18(2006.01)I;C10M105/24(2006.01)I;C10M105/26(2006.01)I;C10M105/30(2006.01)I;C10M129/04(2006.01)I;C10M129/16(2006.01)I;C10M129/30(2006.01)I;C10M129/38(2006.01)I;C10M129/52(2006.01)I;C10N30/06(2006.01)I;C10N40/22(2006.01)I;C10N40/32(2006.01)I 主分类号 C10M173/02(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 经志强
主权项 一种硅锭切片用水溶性切削液,其特征在于:包含碳数(包括羰基的碳)为4~10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9~2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分,ΔpKa=(pKa2)‑(pKa1)    (1)其中,将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn‑1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1,将使成为Hn‑2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。
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