发明名称 |
硅锭切片用水溶性切削液 |
摘要 |
本发明提供一种水溶性切削液,其于硅锭的切削步骤中,与先前品相比润滑性优异,因此可提高切削加工效率,另外,由于由水与硅的反应所引起的引火性的氢产生得到抑制,故而安全性优异,并且由于该水溶性切削液为低泡性,故而不会产生循环使用中的起泡等问题。本发明的硅锭切片用水溶性切削液的特征在于:包含碳数(包括羰基的碳)为4~10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9~2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分。ΔpKa=(pKa2)-(pKa1)(1),其中,将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn-1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1;将使成为Hn-2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。 |
申请公布号 |
CN102482613A |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201080036965.6 |
申请日期 |
2010.08.30 |
申请人 |
三洋化成工业株式会社 |
发明人 |
日高亚季;胜川吉隆;冈本毅 |
分类号 |
C10M173/02(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;C10M105/14(2006.01)I;C10M105/18(2006.01)I;C10M105/24(2006.01)I;C10M105/26(2006.01)I;C10M105/30(2006.01)I;C10M129/04(2006.01)I;C10M129/16(2006.01)I;C10M129/30(2006.01)I;C10M129/38(2006.01)I;C10M129/52(2006.01)I;C10N30/06(2006.01)I;C10N40/22(2006.01)I;C10N40/32(2006.01)I |
主分类号 |
C10M173/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
经志强 |
主权项 |
一种硅锭切片用水溶性切削液,其特征在于:包含碳数(包括羰基的碳)为4~10的一元或二元脂肪族羧酸(A)、及下述数式(1)所表示的ΔpKa为0.9~2.3的多元有机酸(B)或者该有机酸(B)的盐(BA)作为必需成分,ΔpKa=(pKa2)‑(pKa1) (1)其中,将使作为n元酸HnA的有机酸(B)成为Hn‑1A+H+的解离段为1时的酸解离常数表示为pKa1,将使成为Hn‑2A+H+的解离段为2时的酸解离常数表示为pKa2。 |
地址 |
日本京都府京都市东山区一桥野本町11番地之1 |