一种用于区熔单晶生长用的晶体支撑装置

摘要

本实用新型公开了一种用于区熔单晶生长用的晶体支撑装置，安装在区熔单晶炉内，包括：下轴上盖、支撑棒和石英支撑头；其中下轴上盖设置在区熔单晶炉的下晶轴的顶部、籽晶夹头的底部；下轴上盖上设置有一个大直径圆孔和三个小直径圆孔；不锈钢支撑棒为等径空心圆柱结构，通过小直径圆孔插入至区熔单晶炉的螺纹丝杠的底部；石英支撑头包括圆柱形的连接部和设置在连接部上的支撑部，其中，圆柱形的连接部插入不锈钢支撑棒中。本实用新型通过晶体支撑装置与生长中的单晶进行实体接触，对单晶提供有效的物理支撑作用，增加晶体生长时的熔区稳定性，改善了晶体质量提高了成品率；而且石英支撑头用料较少，成本低廉，可以方便进行更换。

主权项

一种用于区熔单晶生长用的晶体支撑装置，安装在区熔单晶炉内，其特征在于，所述装置包括：下轴上盖、不锈钢支撑棒和石英支撑头；其中所述下轴上盖设置在区熔单晶炉的下晶轴的顶部、籽晶夹头的底部；所述下轴上盖上设置有一个大直径圆孔和三个小直径圆孔；所述不锈钢支撑棒为等径空心圆柱结构，通过所述小直径圆孔插入至区熔单晶炉的螺纹丝杠的底部；所述石英支撑头包括圆柱形的连接部和设置在连接部上的支撑部，其中，所述圆柱形的连接部插入所述不锈钢支撑棒中。