一种激光两坐标装置

摘要

本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座，关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台，被测件放置在零膨胀玻璃平台上，基座置于4个气浮脚支承上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm，测长分辨率为0.3nm，保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。

主权项

一种激光两坐标装置，包括基座(1)，其特征在于基座(1)平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台(3、4)，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台(5)，基座(1)置于4个气浮脚支承(2)上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置(17)和光学成像装置(16)；所述的驱动装置分别设于基座(1)的侧壁，该驱动装置由电机(8)的电机轴(9)与至少一个摩擦轮(10)夹持一光杆(11)，光杆(11)一端的气浮轴承(12)与X位移平台(3)或Y位移平台(4)连接；所述的激光测量装置形成的光路与置于玻璃平台(5)上的被测件表面的高度同高，且激光光路分成三路，其中两路为X、Y测长光路，另一路与前述的X测长光路或Y测长光路平行设置，可实时监控X、Y位移平台(3、4)相对于Z轴的旋转量。