| 摘要 |
1. Устройство, содержащее: ! источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями; ! линию подачи, предназначенную для подачи пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку; и ! конструкцию, выполненную с возможностью использования тепла от нагревателя реакционной камеры для предотвращения конденсации пара исходного продукта в жидкую или твердую фазу между источником исходного продукта и реакционной камерой. ! 2. Устройство по п.1, в котором источник исходного продукта содержит выступ, выполненный с возможностью получения тепла от реактора. ! 3. Устройство по п.2, содержащее внутреннюю горловину в выступе и внешнюю горловину вокруг выступа, причем внутренняя горловина и внешняя горловина образуют между собой зазор. ! 4. Устройство по п.2, содержащее теплопроводящую часть, расположенную вокруг линии подачи, выполненную с возможностью уменьшения потерь тепловой энергии от выступа в окружающую среду. ! 5. Устройство по п.1, содержащее корпус источника, выполненный с возможностью вмещения присоединяемого картриджа источника с возможностью отсоединения. ! 6. Устройство по п.5, содержащее нагреватель для нагревания картриджа источника. ! 7. Устройство, содержащее: ! источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями; ! два пульсирующих клапана, внедренные в источник исходного � |
