发明名称 PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UNE STRUCTURE A COUCHE MÉTALLIQUE ENTERRÉE
摘要 L'invention concerne un procédé de réalisation d'une structure à base d'un matériau semi-conducteur comportant : a) une implantation (25) d'une ou plusieurs espèces ioniques, pour former une zone de fragilisation (27) délimitant au moins une couche (20a) dans un substrat (20) en matériau semi-conducteur, b) la réalisation, avant ou après l'étape a), d'au moins une couche métallique (22) sur le substrat (20) en matériau semi-conducteur, c) un assemblage de ladite couche métallique avec un substrat (30) de report, puis une fracture du substrat implanté, au niveau de la zone de fragilisation (27), d) la formation d'au moins une couche (56) en matériau semi-conducteur, sur la couche germe (20a) par exemple par épitaxie.
申请公布号 FR2967813(A1) 申请公布日期 2012.05.25
申请号 FR20100059476 申请日期 2010.11.18
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BETHOUX JEAN-MARC;GUENARD PASCAL
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/60;H01L31/18;H01L33/00 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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