PREPARATION OF CHLOROSILANES FROM VERY FINELY DIVIDED ULTRA-PURE SILICON

摘要

Die Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Chlorsilan aus der Umsetzung von kleinstteiligem Reinstsilicium mit Chlorwasserstoff bereit, wobei die Zuführung des kleinstteiligen Reinstsilicium in ein Festbett aus metallurgischem Silicium erfolgt, wobei die Zuleitung für Reinstsilicium und das Festbett eine Mindesttemperatur aufweisen.