| 摘要 |
Bereitgestellt wird ein Maskeninspektionsgerät (100), enthaltend: eine Emissionseinheit (10) zum Emittieren von Elektronenstrahlen (9) auf eine Probe (7), eine Elektronenerfassungseinheit (8) zum Erfassen der Menge an durch die Emission des Elektronenstrahls (9) von der Probe (7) mit darauf ausgebildeten Mustern erzeugten Elektronen, eine Bildverarbeitungseinheit (30) zum Erzeugen von Bilddaten für die Muster auf der Grundlage der Menge von Elektronen und eine Steuereinheit (20) zum Steuern der Emissionseinheit (10), der Elektronenerfassungseinheit (8) und der Bildverarbeitungseinheit (30). Die Steuereinheit (20) berechnet aus der Größe eines vorgegebenen Betrachtungsbereichs der Probe eine Teilungszahl von Teilbildern, die zusammengesetzt werden, um ein Verbundbild zu bilden, das einen gesamten vorgegebenen Betrachtungsbereich abdeckt. Die Steuereinheit (20) bestimmt Teilbereiche so, dass benachbarte Teilbilder einander teilweise überlappen. Die Steuereinheit (20) gewinnt REM-Bilder f(20) setzt die REM-Bilder der Teilbereiche auf der Grundlage von Koordinatendaten für die Teilbereiche und auf der Grundlage der Kanteninformation für in den Überlappungsbereichen enthaltene Muster zusammen und erzeugt dadurch ein REM-Bild mit breitem Sichtfeld, das den Betrachtungsbereich abdeckt. |
