发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Aufrechterhalten und Erzeugen eines Plasmas
摘要 Ein Verfahren zum Aufrechterhalten eines Plasmas ist offenbart, wobei eine erste Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in ein Gas innerhalb eines Volumens fokussiert wird. Die erste Wellenlänge wird im Wesentlichen durch eine erste Gasart absorbiert und liefert somit Energie in einen ersten Bereich des Plasmas, der eine erste Größe und eine erste Temperatur besitzt. Eine zweite Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung wird in den ersten Bereich des Plasmas fokussiert, wobei die zweite Wellenlänge sich von der ersten Wellenlänge unterscheidet und im Wesentlichen von einer zweiten Gasart absorbiert wird und Energie in einem zweiten Bereich des Plasmas innerhalb des ersten Bereichs des Plasmas liefert. Der zweite Bereich des Plasmas besitzt eine zweite Größe, die kleiner ist als die erste Größe und eine zweite Temperatur, die größer ist als die erste Temperatur.
申请公布号 DE112010000850(T5) 申请公布日期 2012.05.24
申请号 DE201011000850T 申请日期 2010.02.12
申请人 KLA-TENCOR CORP. 发明人 BEZEL, ILYA;SHCHEMELININ, ANOTOLY;DERSTINE, MATTHEW;SHIFRIN, EUGENE
分类号 H05G2/00;H05H1/24 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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