发明名称 Method and mask for making semiconductor devices
摘要
申请公布号 GB1087569(A) 申请公布日期 1967.10.18
申请号 GB19650028203 申请日期 1965.07.02
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人
分类号 C23F1/02;H01L21/00;H01L21/8222;H01L27/00;H01L29/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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