制造薄膜层叠片的方法

摘要

公开了一种用于制造薄膜层叠片的装置，该装置能够防止在传送时条状柔性基板松动或在卷绕时条状柔性基板相对于卷绕辊未对准。在用于制造薄膜层叠片的装置中，在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送条状柔性基板，在条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，条状柔性基板传送到沉积室，通过设置在沉积室中的沉积设备在条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状。调节辊9设置在将薄膜层叠片1A卷绕成辊状的卷绕设备4的前面，并且一对夹持辊7和8排列在调节辊9的前面以在维持给定高度的同时夹住薄膜层叠片1A的至少上端来传送薄膜层叠片1A。

主权项

一种用于制造薄膜层叠片的装置，其特征在于，在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送所述条状柔性基板，在所述条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，所述条状柔性基板传送到所述沉积室，通过设置在所述沉积室中的沉积设备在所述条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状，在用于将所述薄膜层叠片卷绕成辊状的卷绕设备的前面设置调节辊，以防止在卷绕时所述条状柔性基板在夹持辊和所述卷绕设备之间出现松动，并且抑制因所述卷绕辊的直径增大而导致包围角产生变化以及所述条状柔性基板的传送轨迹受到影响，以及一对夹持辊排列在所述调节辊的前面以在维持给定高度的同时夹住所述薄膜层叠片的上端来传送所述薄膜层叠片。