| 发明名称 | 多晶硅CVD炉蜂窝底盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅CVD炉蜂窝底盘，底盘内设有至少一个单元蜂窝，所述单元蜂窝上设有电极棒孔和进气孔。本实用新型的多晶硅CVD炉蜂窝底盘能保证混合气在电极棒之间辐射均匀，降低多晶硅CVD炉加热功率，降低生产能耗，保证多晶硅CVD炉内流场均匀，提高生产效率和多晶硅产品质量，同时降低多晶硅生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202226668U | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201120254384.1 | 申请日期 | 2011.07.19 |
| 申请人 | 上海森松新能源设备有限公司 | 发明人 | 茅陆荣;程佳彪;黄小华;张华芹;李严州;吴海龙 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 程殿军 |
| 主权项 | 一种多晶硅CVD炉蜂窝底盘，其特征在于，底盘内设有至少一个单元蜂窝，所述单元蜂窝上设有电极棒孔和进气孔。 | ||
| 地址 | 201323 上海市南汇区祝桥工业区金闻路29号 | ||