气体供给单元和气体供给系统

摘要

小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。

主权项

一种气体供给单元，该气体供给单元包括：输入模块，该输入模块连接至工作气体供给源，以输入工作气体；输出模块，该输出模块将工作气体输出至工作气体供给目标；控制工作气体的第一流体控制装置和第二流体控制装置；第三流体控制装置，该第三流体控制装置控制所述工作气体，并且布置在将所述工作气体从所述输入模块输送至所述输出模块的输送方向上；第一流路模块，该第一流路模块具有侧表面，所述第一流体控制装置连接在上述侧表面上；以及第二流路模块，该第二流路模块具有侧表面，所述第二流体控制装置连接在上述侧表面上，其中在与将所述工作气体从所述输入模块输送至所述输出模块的输送方向垂直的方向上，所述第一流路模块和所述第二流路模块彼此堆叠，并且，所述第一流体控制装置和所述第二流体控制装置布置在所述第三流体控制装置和安装表面之间，所述气体供给单元要安装在所述安装表面上。