耐冲蚀性机械部件、机械部件的表面层形成方法以及蒸汽涡轮的制造方法

摘要

本发明涉及一种表面层形成方法，其目的在于形成优异的耐冲蚀覆膜，该表面层形成方法由下述工序构成：在加工液(3)中配置部件(2)的工序；以及通过相对于该部件(2)隔着规定间隙配置Si电极(1)，施加规定电压而产生放电，从而从所述Si电极(1)向部件侧供给Si成分，形成含Si表面层的工序，在该表面层形成方法中，通过反复产生放电脉冲的电流值的时间积分值落在30A·μs～80A·μs的范围内的放电脉冲，从而在被处理部分上以5～10μm的厚度形成Si含量为3～11wt％的铁基金属组织。

主权项

一种耐冲蚀性机械部件，其具有如下所述形成的表面层，即，通过在加工液中配置耐冲蚀性机械部件，在该耐冲蚀性机械部件和与该耐冲蚀性机械部件以规定间隔分离的Si电极之间产生放电，从而从所述Si电极向部件侧供给Si成分，形成表面层，该耐冲蚀性机械部件的特征在于，该表面层构成为，以5～10μm的厚度形成Si含量为3～11wt％的铁基金属组织。