铝的化学机械抛光方法

摘要

一种铝的化学机械抛光方法，待抛光的部件包括基底以及形成于基底上的介质层，所述介质层中形成有开口，所述开口中填充有金属铝，所述金属铝填满所述开口并覆盖所述介质层，所述化学机械抛光包括：对所述金属铝进行第一抛光过程，至所述介质层上剩余预定厚度的金属铝；对所述剩余的金属铝进行第二抛光过程，至暴露出所述介质层，所述第二抛光过程与第一抛光过程为非原位的；将所述待抛光的部件移出化学机械抛光设备，对其表面进行清洗。本发明减少了金属铝表面的划伤，改善了器件的可靠性。

主权项

一种铝的化学机械抛光方法，待抛光的部件包括基底以及形成于基底上的介质层，所述介质层中形成有开口，所述开口中填充有金属铝，所述金属铝填满所述开口并覆盖所述介质层，其特征在于，所述化学机械抛光方法包括：对所述金属铝进行第一抛光过程，至所述介质层上剩余预定厚度的金属铝；对所述剩余的金属铝进行第二抛光过程，至暴露出所述介质层，所述第二抛光过程与第一抛光过程为非原位的；将所述待抛光的部件移出化学机械抛光设备，对其表面进行清洗。