磁控管单元、磁控管溅射设备和制造电子器件的方法

摘要

一种磁控管单元包括：多个第一磁体元件，每个第一磁体元件都包括具有相同极性且设置在由磁性材料制成的轭板的两端部分上的第一磁体、以及具有与第一磁体的极性不同的极性且布置在轭板的中间部分上的第二磁体；基板，在所述基板上设置有运动装置以使所述多个第一磁体元件中的每个沿一个方向运动；以及第二磁体元件，其包括由磁性材料制成且分别固定至基板的两端部分的轭板、具有与第二磁体的极性相同的极性且布置在轭板上的磁体、以及具有与第一磁体的极性相同的极性且设置在所述磁体上的磁体。

主权项

一种磁控管单元，包括：多个第一磁体元件，每个第一磁体元件都包括：具有相同极性且设置在由磁性材料制成的轭板的两端部分上的第一磁体、以及具有与所述第一磁体的极性相反的极性且布置在所述轭板的中间部分上的第二磁体；基板，在所述基板上设置有运动装置以使所述多个第一磁体元件中的每个都沿纵向方向运动；以及两个第二磁体元件，每个所述第二磁体元件都包括：由磁性材料制成且固定至所述基板的相应端部的轭板、具有与所述第二磁体的极性相同的极性且布置在轭板上的第三磁体、以及具有与所述第一磁体的极性相同的极性且设置在所述第三磁体上的第四磁体；其中所述第一磁体元件和第二磁体元件沿纵向方向相互平行地布置在所述基板上。