| 发明名称 | 基板的输送涂布装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供基板的输送涂布装置。从用输送机构(14)的垫保持处理后的基板(W1)，用输送机构(13)的垫保持了未处理的基板(W2)的状态，输送机构向图中右侧移动，处理后的基板(W1)向交接位置浮起输送，未处理的基板(W2)向涂布处理部浮起输送。在涂布处理部向未处理的基板(W2)表面涂布涂布液期间，输送机构(14)返回校准装置，保持下一未处理的基板(W3)。输送机构(13)将完成了涂布处理的基板(W2)输送至基板搬出部，输送机构(14)将未处理的基板(W3)输送至涂布处理部的工序。输送机构向图中右侧移动，处理后的基板(W2)向交接位置浮起输送，未处理的基板(W3)向涂布处理部浮起输送。 | ||
| 申请公布号 | CN101254495B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN200810006392.7 | 申请日期 | 2008.02.29 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 升芳明;清水昭宏 |
| 分类号 | B05C13/02(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | B05C13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 雒运朴;李伟 |
| 主权项 | 一种基板的输送涂布装置，其沿着基板的输送方向而连续地配置了基板搬入部、涂布处理部和基板搬出部，其特征在于，跨过上述基板输送部、涂布处理部和基板搬出部的全部而配置有工作台，该工作台在上表面形成了用于将基板浮起的空气喷出孔，将仅保持浮起了的基板的一侧而输送的输送机构，在上述工作台的两侧可分别独立移动地配设，各输送机构将一片基板经过上述基板搬入部、涂布处理部和基板搬出部连续地输送而不向另外的输送机构交接，在左右的输送机构中的一个输送机构保持基板的一侧的期间，将另一个输送机构避开与正被保持的基板的干扰，同时向与基板的输送方向的反方向移动。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||