一种红外激光敏感快速响应角位置探测器

摘要

本发明涉及一种红外激光敏感快速响应角位置探测器，其包括一基底以及生长于该基底上的光响应层，该光响应层为添加有掺杂金属的ZnO薄膜层，其厚度为10纳米-10微米，并且，所述掺杂金属以纳米颗粒的形式掺杂到ZnO中。该器件输出光敏信号反应快，时间短，可达到几个纳秒，光生电压信号的极值随着角位置的变化关系清楚可分辨，可以用来测量连续光或者脉冲光的角位置和角位移量。本发明提供的采用掺杂金属纳米颗粒的ZnO薄膜制作的红外激光敏感快速响应角位置探测器件在工业、计算机、国防等方面具有广泛的应用前景。

主权项

一种红外激光敏感快速响应角位置探测器，其中，该角位置探测器包括：基底；光响应层，生长于所述基底上；第一电极和第二电极分别设置在所述光响应层的左右两端，分别连接第一电极引线和第二电极引线；阻值为1MΩ的电阻连接于所述第一电极引线和第二电极引线之间，以加快响应速度；并且，该角位置探测器包括一个发射波长为1.064微米的红外激光器，并且激光束以一定的角度入射到光响应层上；所述光响应层为添加有掺杂金属的ZnO薄膜层，其厚度为500纳米，并且，所述掺杂金属以纳米颗粒的形式掺杂到ZnO中，所述掺杂金属为Au，以ZnO计，所述ZnO中的掺杂金属的掺杂比例按照原子比为5％；所述基底的材料为硅。