一种互击式散流装置

摘要

本发明提出一种互击式散流装置，主要包括高压气瓶、过滤器、一级减压器、二级减压器、稳压器、加热器、三通、音速喷嘴A、音速喷嘴B、内置式低温泵和真空容器等。所述的互击式散流装置主要用于大型内置式低温泵的抽速测量，通过采用稳压气源系统提供符合抽速测量标准的气体，用音速喷嘴精确控制气体的流量，降低导气管出口处气体的射流效应对抽速测量的影响，能够更加精准的测量内置式低温泵的抽速。

主权项

一种互击式散流装置，其特征在于：包括高压气瓶、过滤器、一级减压器、电磁阀A、二级减压器、稳压器、加热器、电磁阀B、三通、音速喷嘴A、音速喷嘴B、内置式低温泵和真空容器；所述的高压气瓶、过滤器、一级减压器、电磁阀A、二级减压器、稳压器、加热器和电磁阀B通过供气管路顺次相连接；所述的三通的一端与电磁阀B相连接，一端通过导气管A与音速喷嘴A相连接，另一端通过导气管B和音速喷嘴B相连接；所述的内置式低温泵安装在真空容器的内部；所述的音速喷嘴A和音速喷嘴B置于内置式低温泵的几何中心处，音速喷嘴A和音速喷嘴B的喷嘴出口方向水平相对设置。