横向传送系统

摘要

本发明提供一种用于水平定向处理腔室内的模块化横向传送系统。每个模块除了将反应物物料移动穿过所述水平定向处理腔室外，还具有输送工艺气体的能力。所述模块化设计使得操作员能够移去并替换所述系统的模块，从而实质上最小化了在维修期间所述腔室所需的停机时间。

主权项

一种用于处理腔室的横向传送系统的模块，所述模块包含：模块横向传送系统，其设置成将反应物物料从第一位置移动到第二位置；以及一个或多个模块工艺气体供应系统，其设置成提供一种或多种工艺气体以与所述反应物物料相互作用。