| 发明名称 | 湿蚀刻装置和湿蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 湿蚀刻装置(1)具备：蚀刻处理槽(5)，其使蚀刻药液附着于基板(10)而进行蚀刻处理；和水洗处理槽(6)及干燥处理槽(7)，其与蚀刻处理槽(5)连接而连续地处理基板(10)，设有除去基板(10)上的液滴的空气刀(14、15)。另外，湿蚀刻装置(1)具备：管道(9)，其至少与蚀刻处理槽(5)连接，内部保持负压；和排气管(21、24)，其将水洗处理槽(6)及干燥处理槽(7)连接到管道(27)。在排气管(21、24)中，设有进行排气管(21、24)的开闭的自动档板(23、26)和取入外部气体(29)的取入口(22、25)。根据该构成，当空气刀动作时，也可以将湿蚀刻装置的内部的压力保持为比外部的压力低。 | ||
| 申请公布号 | CN102473627A | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201080032902.3 | 申请日期 | 2010.07.14 |
| 申请人 | 夏普株式会社;住友精密工业株式会社 | 发明人 | 绪方正一;菅长大辅 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种湿蚀刻装置(1)，具备：蚀刻处理槽(5)，其使蚀刻药液附着于基板(10)而进行蚀刻处理；基板处理槽，其与上述蚀刻处理槽(5)连接而连续地处理上述基板(10)，设有除去上述基板(10)上的液滴的空气刀(14、15)；管道(9)，其至少与上述蚀刻处理槽(5)连接，内部保持负压；以及排气管(21、24)，其连接上述基板处理槽和上述管道(9)，在上述排气管(21、24)中，设有进行上述排气管(21、24)的开闭的开闭部(23、26)和取入外部气体的取入口(22、25)，由上述开闭部(23、26)进行上述取入口(22、25)的开闭。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||