| 发明名称 | 具有微机械的麦克风结构的构件以及制造这种构件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一些措施，通过所述措施以简单的方式改进了具有实现为衬底(1)上方的层结构(20)的微机械的麦克风结构的构件(10)的声学特性并且也简化了制造方法。这种构件(10)的麦克风结构包括：可通过声压偏转的膜片(11)，所述膜片覆盖所述构件背侧中的、用作背侧容积的空腔(13)；固定的、可透声的配合元件(12)，所述配合元件设置在所述膜片(11)上方。根据本发明，所述层结构(20)在所述膜片(11)与所述衬底(1)之间包括镶边层(3)，在所述镶边层(3)中构造有声学透明的孔隙(4)。所述膜片(11)通过所述孔隙与所述背侧容积(13)衔接，并且所述背侧容积(13)在所述镶边层(3)下方在侧向上延伸超过所述孔隙(4)。 | ||
| 申请公布号 | CN102474693A | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201080034137.9 | 申请日期 | 2010.06.02 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·赖因穆特 |
| 分类号 | H04R19/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 曾立 |
| 主权项 | 具有微机械的麦克风结构的构件(10)，所述麦克风结构实现为衬底(1)上方的层结构(20)，其中，所述麦克风结构至少包括：可通过声压偏转的膜片(11)，所述膜片覆盖所述构件背侧中的、用作背侧容积的空腔(13)，和固定的、可透声的配合元件(12)，所述配合元件设置在所述膜片(11)上方；其特征在于，所述层结构(20)在所述膜片(11)与所述衬底(1)之间包括至少一个镶边层(3)，在所述镶边层(3)中构造有声学透明的孔隙(4)，所述膜片(11)通过所述孔隙与所述背侧容积(13)衔接，并且所述背侧容积(13)在所述镶边层(3)下方在侧向上延伸超过所述孔隙(4)。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||