绝缘构件及包括绝缘构件的基板处理装置

摘要

本发明提供绝缘构件及包括绝缘构件的基板处理装置。该绝缘构件能够防止密封构件因等离子体而劣化。在基板处理装置(10)的腔室(11)内将基座(12)和腔室的底部平面(51)绝缘的绝缘构件(14)具有内侧构件(41)、外侧构件(42)、配置在两者之间的O型密封圈(43)，外侧构件由与矩形的基座的各边相对应的长条状物(44～47)的组合体构成，各长条状物以各长条状物的一端的端面抵接于相邻的另一个长条状物的一端的侧面、另一端的侧面抵接于又一个长条状物的一端的端面的方式组合，各长条状物排列为各长条状物的一端借助固定用的螺纹孔(48)固定于腔室的底部平面、另一端借助支承用的螺纹孔(49)位移自由地支承。

主权项

一种绝缘构件，其用于在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内将用于载置上述基板的矩形的载置台和上述处理室的内壁面之间电绝缘，其特征在于，该绝缘构件具有内侧构件、外侧构件、环状的密封构件，该环状的密封构件配置在该内侧构件和外侧构件之间且用于划分出上述处理室内的真空区域和由上述内侧构件围成的大气区域；上述外侧构件由与上述矩形的载置台的各边相对应地配置的绝缘性的长条状物的组合体构成；各长条状物以长条状物的长度方向的一端的端面抵接于相邻的另一个长条状物的长度方向的一端的侧面、长条状物的长度方向的另一端的侧面抵接于相邻的又一个长条状物的长度方向的一端的端面的方式分别被组合，该又一个长条状物与上述另一个长条状物不同；上述各长条状物以上述长条状物的长度方向的一端借助固定用的螺纹孔固定于上述处理室的内壁面、另一端借助至少1个支承用的螺纹孔被位移自由地支承的方式被排列。