蒸发装置

摘要

一种蒸发装置，包括：移动板，其设置在框体上往复移动；多个蒸发源，其用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料，在与该移动板的移动方向相交的方向上，在该移动板上设置多个蒸发源；以及驱动单元，其用于往复移动该移动板。该蒸发装置可简化结构，并可短时间内在基板上沉积均匀厚度的蒸发材料。

主权项

一种蒸发装置，包括：移动板，其设置在框体上往复移动；多个蒸发源，其用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料，在与所述移动板的移动方向相交的方向上，在所述移动板上设置所述多个蒸发源；以及驱动单元，其用于往复移动所述移动板，所述蒸发装置的特征在于，所述驱动单元包括：驱动马达；和功率传送单元，其用于将所述驱动马达的驱动力传送到所述移动板以使所述移动板移动，所述功率传送单元包括：驱动滑轮，其旋转地设置在框体中并且被所述驱动马达所驱动；空转滑轮，其旋转地设置在框体中，所述空转滑轮与所述驱动滑轮在所述移动板的移动方向上彼此间隔；以及钢带，其与所述空转滑轮和所述驱动滑轮驱动地相连，其中所述移动板与所述钢带在一点上紧固，其中，当所述空转滑轮和所述驱动滑轮旋转时，所述钢带旋转以便往复移动所述移动板。