多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统，包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根管线，洗涤塔分别连接再蒸发器和残液闪蒸罐，再蒸发器连接残液闪蒸罐，残液闪蒸罐连接尾气洗涤塔，尾气洗涤塔下端设置碱液池，连接洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔的管线外缠绕蒸汽半管保温管，有效地解决了含有氯硅烷聚合物、重金属氯化物等废液废渣在传输过程中易堵塞管道的问题。

主权项

一种多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统，其特征在于：包括洗涤塔、再蒸发器、残液闪蒸罐、尾气洗涤塔、碱液池以及多根连接在洗涤塔与再蒸发器之间、洗涤塔与残液闪蒸罐之间、再蒸发器与残液闪蒸罐之间、残液闪蒸罐与尾气洗涤塔之间的管线，所述管线外缠绕有蒸汽半管保温管，所述碱液池设置在尾气洗涤塔下端。