| 发明名称 | 一种带有溢流盒的反应槽 | ||
| 摘要 | 一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体，设于该反应槽体内部上部的运输滚筒。所述的相邻两运输滚筒之间设有溢流盒，而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路。本实用新型在反应槽体内的运输滚筒之间设置溢流盒，以便加快反应槽内的药液更换速度，而减少反应槽内各区域药液浓度的差异性，是的使硅片表面处理更均匀。相比传统的溢流装置，新的溢流盒能在槽体内随意分散开，克服了不同区域药液浓度不一致的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN202231047U | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201120319909.5 | 申请日期 | 2011.08.30 |
| 申请人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 发明人 | 左国军 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人 | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 主权项 | 一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体（1），设于该反应槽体（1）内部上部的运输滚筒（2），其特征在于，所述的相邻两运输滚筒（2）之间设有溢流盒（3），而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路（4）。 | ||
| 地址 | 213125 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||