氢氟酸添加装置及添加方法

摘要

本发明涉及一种氢氟酸添加装置及添加方法，该添加装置包括：输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。本发明由氢氟酸源作为添加站，集中为机台各个瓶子进行氢氟酸的添加，不需作业人员反复领用，节省了时间也便于管理，在添加氢氟酸时只需对开关阀施加外部控制，将开关阀打开，氢氟酸源就对机台容器进行添加，将开关阀关闭则停止添加，无需再对机台容器进行任何操作，也不需再与氢氟酸进行任何接触，安全便捷，极大程度的保护了作业人员的安全，避免安全事故的发生。

主权项

一种氢氟酸添加装置，其特征在于，包括：输送管路，用于将至少一机台容器与可添加氢氟酸的氢氟酸源相连；开关阀，用于接收外部控制打开或关闭，控制氢氟酸源经所述输送管路与机台容器连通或阻断，使氢氟酸源对机台容器进行氢氟酸添加。