发明名称 印模及制造方法、使用印模的薄膜晶体管和液晶显示器件
摘要 本发明提供了一种制造印模、薄膜晶体管和采用该薄膜晶体管的液晶显示器件的方法。该印模具有相对于基板改进的接触性能。使用该印模在基板上形成带电区域,并且涂布或者电镀充有与该带电区域的电荷相反的电荷的纳米材料以形成自组装单层(SAM)。因此,该薄膜晶体管和该液晶显示器件能够具有精确的纳米图案,由此提高该器件的性能。
申请公布号 CN1967384B 申请公布日期 2012.05.23
申请号 CN200610087175.6 申请日期 2006.06.15
申请人 乐金显示有限公司 发明人 李宝铉;蔡基成
分类号 G03F7/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 G03F7/14(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;祁建国
主权项 一种用于形成纳米图案的印模,包括:基板;在所述基板上直接形成并且具有凸起部分的金属层;以及在所述金属层上形成的聚合物层,在所述聚合物层上沿着所述金属层的所述凸起部分的轮廓形成凸起图案,其中,所述凸起部分从所述金属层的表面凸出,并且与所述金属层整体形成。
地址 韩国首尔