| 发明名称 | 氧化锌薄膜的热处理方法以及太阳能电池的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的氧化锌薄膜的热处理方法以及太阳能电池的制造方法，包括：将形成有氧化锌薄膜的基板装载在室内的阶段；向上述室内流入氢气的阶段；固定上述室内压力的阶段以及在上述室内利用上述氢气对氧化锌薄膜进行热处理的阶段。 | ||
| 申请公布号 | CN101527265B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN200910118836.0 | 申请日期 | 2009.03.03 |
| 申请人 | 韩国铁钢株式会社 | 发明人 | 明承烨 |
| 分类号 | H01L21/324(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/324(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人 | 葛强;邬玥 |
| 主权项 | 一种氧化锌薄膜的热处理方法，包括：将形成有氧化锌薄膜的基板装载在室内的阶段；向上述室内流入氢气的阶段；固定上述室内压力的阶段；在上述室内利用上述氢气对氧化锌薄膜进行热处理的阶段；其中上述室内的压力固定于0.3Torr至5Torr；并且在上述热处理过程中，上述室内的温度为120℃至200℃；上述氢气的流入量为10sccm至500sccm；上述热处理时间为3分钟至60分钟；经过上述热处理之后，将上述室内的压力降低到10‑7Torr至10‑3Torr。 | ||
| 地址 | 韩国庆尙南道 | ||