| 发明名称 | 喷淋头清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例提供一种喷淋头清洗装置，用于对喷淋头的表面进行清洗，包括：清洗刷，具有刷毛；清洗刷机械手，用于夹持和移动清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能够与喷淋头的表面进行相对运动，利用该相对运动清洗喷淋头的表面；吸附装置，用于吸附清洗过程中的污染物。本实用新型实施例解决了喷淋头的表面无法清洗的问题，避免喷淋头表面的污染物对下一次沉积工艺的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN202224377U | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201120383309.5 | 申请日期 | 2011.10.10 |
| 申请人 | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 | 发明人 | 叶芷飞;梁秉文 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种喷淋头清洗装置，用于对喷淋头的表面进行清洗，其特征在于，包括：清洗刷，具有刷毛；清洗刷机械手，用于夹持和移动清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能够与喷淋头的表面进行相对运动，利用该相对运动清洗喷淋头的表面；吸附装置，用于吸附清洗过程中的污染物。 | ||
| 地址 | 314300 浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 | ||